API激光干涉儀操作說(shuō)明

API激光干涉儀操作說(shuō)明

API激光干涉儀安裝步驟：

?首先將激光干涉儀放置于所需測(cè)量機(jī)器的工作平臺(tái)，讓激光照射的方向大致與所測(cè)軸運(yùn)動(dòng)方向平行。

?打開激光干涉儀下面的磁力座開關(guān)(如平臺(tái)非鐵件,需安裝- -鐵板以便磁力座更好的吸附)。

?將機(jī)器所測(cè)量軸移動(dòng)至近處軟限位位置。

?將1D/3D 反射鏡鏡面朝向干涉儀方向并安裝在機(jī)器運(yùn)動(dòng)狀態(tài)下穩(wěn)定不會(huì)晃動(dòng)的零部件上。(反射鏡與干涉儀均可作為運(yùn)動(dòng)測(cè)量)

?激光干涉儀與反射鏡安裝完畢后，檢測(cè)測(cè)量軸在做全程運(yùn)動(dòng)時(shí)能有效的接收激光照射且不會(huì)碰到反射鏡及機(jī)器的任意部件。